中古 KLA / TENCOR 2135 #9249042 を販売中
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ID: 9249042
ウェーハサイズ: 8"
Wafer inspection system, parts machine, 8"
Missing TDI module and PLLAD module.
KLA/TENCOR 2135マスクおよびウェーハ検査装置は、最新の半導体製造の計測ニーズに特化した高度な計測ソリューションです。独自の技術により、半導体デバイスの製造に使用されるリソグラフィックマスクまたはウェーハに含まれる重要なパターンを迅速かつ正確に測定できます。KLA 2135は非常に小さな欠陥を検出し、高精度で再現性のあるデバイススケールで特徴変化を検出することができます。TENCOR 2135システムは、必要に応じてさまざまなアプリケーション用に構成できるモジュラープラットフォーム上に構築されています。これにより、ユーザーは必要に応じてさまざまなリソグラフィーアプリケーションに簡単にツールを適合させることができます。これらのアプリケーションは、ダイダイ欠陥検査からフィーチャープロファイル認定、クロックジッタ解析まで幅広く対応できます。高精度の測定と分析を容易にするために、このツールには独自のハードウェアとソフトウェアが組み込まれています。高精細光学、共焦点レーザースキャン、干渉光学、および高度な検出器のユニークな組み合わせは、ミクロンレベルの解像度で特徴を測定および分析します。さらに、検査ユニットの欠陥検出アルゴリズムは正確にキャリブレーションされ、フィーチャーの寸法と形状の最も小さなバリエーションを検出します。同様に重要なのは、大量のデータを効率的に迅速に処理および分析する2135マシンの能力です。このツールは、オンボードイメージのアーカイブと検索機能により、1時間で数百ギガバイトのデータを処理できます。さらに、KLA/TENCOR 2135アセットは、人間が介入する必要のないデバイス特性を自動的に認識、分類、測定することができます。これにより、面倒な手動検査プロセスを必要とせずに、ツールが一貫して高品質の結果を提供できるようになります。全体として、KLA 2135マスクおよびウェーハ検査モデルは、最新の半導体製造の計測ニーズに対応する堅牢で信頼性の高いソリューションです。高度なハードウェア、ソフトウェア、分析プロセスを組み合わせることで、リソグラフィックマスクやウェーハの欠陥を確実に特定し、品質管理と生産歩留まりを向上させることができます。検査プロセス中の人手を削減する能力を備えたこのツールは、現代のリソグラフィ用途に最適です。
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