中古 KLA / TENCOR 2135 #9195908 を販売中
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KLA/TENCOR 2135は、最新の半導体製造のために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、高解像度のイメージング技術を使用して、半導体部品の製造に使用されるマスクやウエハを正確かつ迅速に検査します。このユニットは、傷や粒子などの表面欠陥と、ボイドやピンホールなどの地下欠陥の両方を検出することができます。KLA 2135は光源、照明光学、レンズを含む光学カラムと、スキャン幾何学、機械スキャン段階、および画像処理ソフトウェアを含む画像分析機械で構成されています。この光学カラムには、明視野の照明器、偏光光場の照明器、斜めの照明器が含まれており、これらはすべて様々な深さでの表面や地下の欠陥を検出するために必要です。さらに、このツールは広い視野と高い数値開口を備えています。TENCOR 2135の画像解析アセットは、高速かつ高精度で画像を解析するように設計されています。画像処理ソフトウェアは、リアルタイムで欠陥を検出し分類することができ、迅速な応答時間と高い生産性を可能にします。また、ウェーハ検査アルゴリズムも搭載しており、誤報発生回数を減らすことができます。2135は自動化された生産ラインに統合されるように設計されています、既存の設備に統合することを容易にします。さらに、この装置は歩留まり管理、プロセス制御、追跡システムなどの他のシステムとの接続も可能です。KLA/TENCOR 2135には、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されており、ユーザーはシステムを迅速かつ簡単にセットアップして使用することができます。KLA 2135は、高解像度イメージング技術、画像解析機能、および他のシステムとの統合をユーザーに提供するため、最新の半導体製造に不可欠なツールです。TENCOR 2135を使用することで、製造メーカーはマスクやウエハーの表面および表面下面の欠陥を迅速かつ正確に検出することができ、より迅速で効率的な生産を可能にします。
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