中古 KLA / TENCOR 2135 #9189621 を販売中

KLA/TENCOR 2135は、高度なマスク&ウェーハ検査装置です。優れた欠陥検出精度と感度を備えた高速自動ウェーハ検査を提供し、ウェーハのスポットチェックを確実に行うことができます。高解像度CCDカメラや光学系などの高度な光学技術とイメージング技術を駆使し、高い精度と信頼性を実現しています。画像取得、画像処理、欠陥検出サブシステムの3つの主要コンポーネントで構成されています。画像取得サブシステムは、ウェーハの画像を高解像度でキャプチャします。このコンポーネントは、複数のカメラで構成されており、所望の検査解像度に応じて、CCDやCMOSカメラなどの異なるカメラタイプを含めることができます。また、レーザーベースの高さ補償システムを搭載し、ウェーハ表面のバリエーションを調整します。画像処理サブシステムは、raw画像を欠陥検出に適したフォームに変換するために、多くの複雑な操作を実行します。これには、画像解析、画像クリーニング、画像ステッチ、画像アライメント、画像登録、画像セグメンテーション、画像登録が含まれます。画像処理サブシステムは、ピットやボイド、亀裂や傷などのさまざまな種類の欠陥を認識することもできます。欠陥検出サブシステムは、ウェーハ上の欠陥を自動的に検出およびローカライズする責任があります。これは、ピクセルレベル解析、カラーヒストグラム、線形スキャンなどの光学的および欠陥検出アルゴリズムの組み合わせによって達成されます。このツールは、検出された欠陥をさまざまな欠陥タイプに分類することもできます。KLA 2135は、信頼性の高い品質保証サービスを提供することができる高度なマスク&ウェーハ検査資産です。モデルに組み込まれた高精度の光学技術とイメージング技術により、最小の欠陥であっても高速で正確かつ敏感に検出、分類、ローカライズすることができます。これにより、欠陥評価、品質保証、半導体製造などのアプリケーションに最適です。