中古 KLA / TENCOR 2135 #9144798 を販売中

KLA/TENCOR 2135は半導体産業のために設計された洗練されたマスク及びウエハの点検装置です。このツールは、最新の技術を基にしており、ウェーハやマスク上のさまざまな機能を正確に測定および検査することができます。このシステムは、14。5 μ mピクセルサイズの高解像度CCD検出器を備えており、非常に小さな欠陥を識別することができます。オペレータの作業負荷を低減するために、高速ウェーハローダを搭載し、一度に最大20個のウェーハを処理します。KLA 2135は、レーザー伝送イメージング（LTI）技術を使用して、同じウェーハの複数の画像を可能にし、任意のフィーチャーの幾何学的測定を正確に計算することができます。測定精度をさらに向上させるために、このツールには自動焦点アルゴリズムが組み込まれており、ウェーハの焦点や傾きの問題を補償します。さらに、統合されたエッジ検出アルゴリズムにより、アセットは欠陥エッジを正確に見つけることができ、欠陥を識別して特定するモデルの能力が向上します。装置の分析とポストプロセス機能も同様に印象的です。特徴測定、エッジ解析、欠陥解析などの広範な分析機能により、オペレータは画像を迅速かつ正確に調査できます。さらに、インテリジェントレポートジェネレータは、データストレージとシステム分析を簡素化します。レポートテンプレートは、さまざまな顧客の要件に合わせてカスタマイズできます。全体として、TENCOR 2135は信頼性の高いマスクとウェーハの測定と検査を提供します。このツールは、高度な技術と高速性能により、エンジニアと科学者がウェーハおよびマスク検査プロセスで最高レベルの精度を達成することができます。