中古 KLA / TENCOR 2135 #9139553 を販売中

KLA/TENCOR 2135は、半導体デバイスのマスクおよびウェーハ検査に使用される自動光学検査装置です。マイクロプロセッサからチップ上のシステムまで、さまざまな種類のマスクやウェーハを検査するために設計されています。その設計は、高度な光学、ソフトウェアアルゴリズム、および材料物理学の使用を組み合わせて、精度、速度、再現性を向上させます。ユニットの中心には、ウェーハやマスクの画像をキャプチャするために使用される高解像度カメラがあります。これらの画像は、デバイス表面の亀裂や空隙などの構造欠陥を特定するために処理および分析されます。カメラは可動プラットフォームに搭載されており、デバイス上の特定の領域にカメラヘッドを正確に配置できます。これにより、複数の画像をデバイス全体で撮影することができます。機械で使用されているソフトウェアアルゴリズムは、カメラによってキャプチャされた画像を撮影し、ウェーハまたはマスクの表面の特定の欠陥を識別するためにそれらを分析することができます。この解析プロセスにより、欠陥検出の精度が高くなります。このツールはさらに、特定された欠陥の正確な位置を特定し、欠陥の詳細な分析を提供することができます。欠陥検出機能に加えて、KLA 2135は他のさまざまな機能も提供しています。ライン幅や厚さなど、デバイス内の機能を詳細に測定することができます。これらの測定は、検査対象のマスクまたはウェーハの精度と精度を決定するために使用できます。このアセットは、デバイスの光学特性や電気特性など、デバイスの材料特性を詳細に分析することもできます。この情報は、デバイスが必要な仕様に製造されていることをさらに保証するために使用することができます。TENCOR 2135は高精度で汎用性の高いモデルで、さまざまな半導体デバイスで精密な検査を行うことができます。高度な光学系と高度なソフトウェアアルゴリズムを組み合わせることで、欠陥検出や材料分析において高い精度と再現性を提供します。