中古 KLA / TENCOR 2135 #9004617 を販売中

KLA/TENCOR 2135は、パターン化されたマスクおよびウェーハの欠陥を識別、分析、修正するための高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。システムには欠陥管理とプロセス最適化のための自動化されたユニットがあり、最高レベルの製造スループットとプロセス安定性を実現します。KLA 2135マシンには、2kメガピクセルのイメージングカメラなどの高解像度の高度なイメージングツールが搭載されています。最大200枚のマスクと200枚のウェーハを同時に検査でき、高感度分解能とレビュー機能を備えています。その強力なソフトウェアは、卓越した精度で欠陥やその他の異常を迅速に検出、分析、報告することができます。このツールは、シングルブレイクやショーツなどの小さな欠陥、および侵入物、粒子、傷、パターンのずれなどの大きな機能を検出および分離できます。また、マスクやウェハの検査に特化した様々な機能を提供しており、CMP （Chemical Mechanical Polishing）マシンに接続してその場で測定し、平面化プロセスを監視することができます。TENCOR 2135アセットは、検査、DRC/LRC、および特性評価機能のスイートも提供し、プロセス全体の可視性を高めます。これらの機能は、フォトマスクまたはウェーハにコミットする前にパターン内の任意の異常を検出するために使用できます。また、複数のフォトマスクとウェーハを比較してマスクスキームの違いを検出し、同時にパス/フェイルレポートを生成することも可能です。2135は、欠陥管理とプロセス最適化を自動化する高性能マスクおよびウェーハ検査システムの導入を検討しているメーカーにとって理想的なソリューションです。強力なソフトウェアと高度なイメージング技術により、最高レベルの精度とスループットを実現し、製造プロセスの効率とコスト削減を実現します。