中古 KLA / TENCOR 2135 #198385 を販売中

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ID: 198385
Wafer Inspection system, 1998 vintage.
KLA/TENCOR 2135は、半導体製造のための最先端の費用対効果の高いマスクおよびウェーハ検査装置で、卓越したスピード、再現性、精度を提供する幅広い生産検査タスクを処理するように設計されています。KLA 2135は、品質保証の究極のパッケージを提供する製品に標準アライメント、敏感な光学検査およびデータ分析機能を組み合わせています。TENCOR 2135は、自動欠陥検出、基板アライメント、シリアライズID読み取りを備えています。これらの機能により、マスクおよびウェーハインスペクターは基板を高速で正確かつ正確に検査することができます。敏感な光学検査機能により、ウェーハやマスクの最小欠陥を検出して分析することができます。2135には、オペレータが特定の製品パラメータを設定できるカスタマイズ機能があります。これらのパラメータには、ウェーハパターンサイズの測定、x-y位置ミス登録、磁気ヘッド/ギャップ、パターン歪みなどの品質特性が含まれます。これらのカスタマイズされた設定により、KLA/TENCOR 2135は高品質の検査を効率的かつ正確に実行できます。KLA 2135には、検査された部品に関するデータを収集して保存する機能もあります。このデータは、製品品質の正確な記録を作成するために使用することができます。貴重な情報はプロセス条件および品質管理を改善するのを助けるのに使用することができます。TENCOR 2135にはいくつかのコスト削減機能があり、市場で最も費用対効果の高いマスクおよびウェーハ検査システムの1つです。例えば、ユニットは他のシステムよりも電力刺激を大幅に低減します。さらに、光学素子のフィールド交換や校正プロセスの最適化により、工具コストを削減します。2135は非常にモジュラーで構成可能で、お客様のニーズに合わせて拡張できます。これにより、小型パイロットラインランから大量生産まで使用できる汎用性と信頼性の高いプラットフォームとなります。全体として、KLA/TENCOR 2135は高度なマスクおよびウェーハ検査プラットフォームであり、セットアップ費用と迅速な納期を最小限に抑え、非常に正確で信頼性の高い再現性の高い検査を提供します。高速かつ信頼性の高い検査を必要とする半導体製造プラントに最適なツールです。
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