中古 KLA / TENCOR 2135-IS #293620770 を販売中

KLA/TENCOR 2135-ISは、高度なイメージング、分析、レポート機能を備えた高性能、高収率、マスク、ウェーハ検査装置です。このシステムは、可変サイズの視野を提供し、明視野と暗視野の両方で優れた画像解像度を提供します。KLA 2135-ISユニットは、複雑なマスクやウェーハの欠陥を検出することができます。照明装置、高動的レンジイメージング、レーザパターン認識、独自のマルチビューイメージング技術を強化しています。このツールによって使用される高度なイメージング技術により、高品質で欠陥中心の画像解析が可能になります。アセットには、1。3メガピクセル、8ビットCCDアレイ検出器、50メガピクセル、12ビットCCDアレイ検出器などの複数の検出器があります。1。3メガピクセルCCDアレイ検出器は、クリティカルジオメトリの検査に適した高解像度イメージングのための深いレベルの感度を備えています。これらの検出器は、検出器のサイズとイメージング機能が大きいため、大型ウェハでも最小の欠陥を検出して分析することができます。TENCOR 2135-ISの主な特徴の1つは、マルチポイントUVおよび赤外レーザパターン認識です。この機能により、ウェーハ上のレーザー定義のオーバーレイ機能とプロセス層の正確なマッピングが可能になり、ウェーハ画像と所定の参照画像をリアルタイムで比較できるため、欠陥の効率的な検出が可能になります。また、高速欠陥キャプチャ装置を備えており、マスクまたはウェーハ画像の高速、自動化、欠陥特性評価、分類が可能です。ユーザーは、システム内の欠陥に簡単にアクセス、削除、保存、分類することができます。欠陥検出機能に加えて、このユニットには、欠陥のサイズ、種類、場所、重大度などのさまざまな統計指標を使用して詳細なレポートを生成できる強力なデータ分析およびレポート作成ツールもあります。全体として、2135-ISマシンは、高性能で高収率の結果を提供するように設計された完全なマスクとウェーハ検査ソリューションを提供しています。このツールは、製造業者やファブが高品質の製品の一貫性を確保し、大量生産の厳しいニーズを満たすのに役立ちます。