中古 KLA / TENCOR 2133 #138914 を販売中

KLA/TENCOR 2133は、半導体デバイスの高速・高スループットを実現するマスク・ウェハ検査装置です。高度な画像取得・取得処理技術を活用し、迅速かつ正確な欠陥検査を実現します。このユニットは、ウェーハとマスクレイアウトの特徴の小さな変化を検出して動作します。KLA 2133は、レイアウトレイヤのイメージングとスキャンに複数の高速カメラを使用します。カメラは、レイアウトで識別された個々の層の迅速なキャプチャと分析を可能にします。キャプチャされた画像は、アルゴリズムによって処理され、ウェーハとマスクレイアウトの機能の欠陥を識別および検出します。これは、シェーディングや回折パターンなど、レイアウトのパターンの非常に小さな変化を検出することによって行われます。このマシンには、検出器、カメラ、光学機器などのハードウェアコンポーネントが含まれています。検出器は複数のレイアウトレイヤをキャプチャし、カメラはデータをキャプチャします。光学は焦点を合わせ、用具の材料にライトを合わせます。アセット内の光学部品は、カメラが正確にデータをキャプチャし、分析することができます。モデルのソフトウェアコンポーネントには、画像解析アルゴリズムとビジョンツールが含まれます。このアルゴリズムは、レイアウトのパターンの非常に小さな変化を検出し、欠陥の種類を特定するように設計されています。ビジョンツールにより、複数の情報をまとめることができます。これにより、レイアウトの特徴欠陥の完全な画像を作成できます。TENCOR 2133はマスクおよびウェーハの点検のための複数の利点を提供します。装置は信頼でき、正確、最も小さい欠陥を検出でき、非常に速い速度で働くことができます。システムはまた、複数のレイヤーを検査し、データを迅速に処理することができます。さらに、このユニットは費用対効果が高く、使いやすいユーザーインターフェイスを提供します。これらの利点のすべては2133をマスクおよびウェーハの点検適用のための優秀な選択にします。