中古 KLA / TENCOR 2132 #9395743 を販売中

KLA/TENCOR 2132はマスクおよびウェーハの点検のために設計されている最先端の点検装置です。直径2〜6インチのウェーハに対応し、マスクやウェーハの完全デジタル検査が可能です。KLA 2132は、レーザーベースの単一光子検出システムを使用して、ウェーハの両側の欠陥レベルを検出および定量化します。このユニットは、ウェーハの表面全体を包括的に分析するために、ウェーハごとに数十億のデータポイントを生成します。この分析には、パーティクルサイジング、パーティクルタイプ、欠陥輪郭情報、画像相関、および全体的な欠陥特性評価が含まれます。TENCOR 2132は、欠陥の検出と定量化に加えて、さらなる解析のために欠陥の高解像度画像を生成することもできます。このマシンは、WIPL、 OPC、およびVFLを含むさまざまな業界標準と互換性があります。さらに、このツールを使用して、1回の実行で複数のウェーハを検査することができ、実行時間は2分未満です。また、ウェーハハンドリングとソートのための高度なロボティクスを統合し、効率的なワークフローと人件費の削減を実現しています。2132は、1ミクロンまでの分解能で、比類のない検査精度を提供することができます。また、ウェーハ上の最小欠陥でも容易に検出できるように設計された高度なアルゴリズムを搭載しています。さらに、この装置は高速イメージングを提供するように設計されており、イメージング速度は最大12,000wpmです。KLA/TENCOR 2132は、完全なマスクおよびウェーハ検査ソリューションを提供するために設計された高性能システムです。高度な光学、ロボティクス、検出アルゴリズムにより、高速イメージングおよびデータ解析機能を備え、比類のない精度を提供できます。最高レベルの精度と信頼性を必要とするあらゆるアプリケーションに最適なソリューションです。