中古 KLA / TENCOR 2132 #9383459 を販売中

KLA/TENCOR 2132は、メーカーが半導体デバイスの品質を保証するのに役立つマスクおよびウェハ検査装置です。フォトマスク、エンジニアリング図面、およびその他の新しく製造された金属および誘電層の欠陥を検出し、特性評価するために使用されます。KLA 2132システムは、ウェーハ検査装置（WIS）とマスク検査装置（MIS）の2つの主要コンポーネントで構成されています。WISコンポーネントは、パッケージ化されていないウェーハの光検査を実行し、電気試験および金型解析に不可欠なプロセスおよび欠陥データを収集します。また、ウェーハパラメータ（均一性、幾何学的配置、ウェーハクリティカル寸法を含む）を検証します。MISコンポーネントは、剥離や汚染などの重要な欠陥を検出し、設計レイアウトと比較するために設計されたフォトマスクブランクのダイツダイ検査を提供します。TENCOR 2132ツールは、高解像度デジタルイメージング、軸外照明、自動位相シフト、および画像取得の改善のための特殊光学部品など、さまざまな先進技術を採用しています。そのイメージング機能により、ナノメートルスケールまでの幾何学的測定と欠陥特性評価が可能になり、製造プロセスの初期段階で問題を特定するのに役立ちます。この資産には、自動ターゲットの選択や評価プロセスなど、いくつかの品質保証機能が組み込まれています。これにより、検査時間を短縮し、量産前に最も重要な欠陥を特定することができます。このモデルは、透過的な欠陥分類方法をサポートしており、データベースシステムとの統合を容易にするように設計されています。これにより、他の計測ソリューションとの統合に適しており、自動欠陥追跡と特性評価が容易になります。さらに、この機器は高速なデータストレージを提供し、メーカーは時間の経過とともに変化を追跡および比較することができます。全体として、2132は、製造メーカーが高品質のデバイスを生産するのを支援する自動化された高精度のウェーハおよびマスク検査システムです。ユニットインテグレーション、欠陥検出、製造分析のための信頼性の高い効率的なプラットフォームをユーザーに提供します。