中古 KLA / TENCOR 2132 #9377282 を販売中

KLA/TENCOR 2132は、ウェーハパターン、欠陥、およびシステム性能を分析するために設計されたマルチセンサマスクおよびウェーハ欠陥検査装置です。半導体ウェーハやマスクの表面に微細な欠陥を検出することができます。赤外線、可視光、紫外線検査技術など、さまざまな光学技術を利用して、さまざまな粒子サイズ、形状、組成物を検出します。バイナリとグレースケールの両方の機能をマップして、完全な欠陥検出を行うことができます。KLA 2132の自動チューニングマシンは、各ウェハの手動調整なしに、異なるウェーハの検査を許可します。高度なマルチイメージ機能により、1フィールドにつき最大32の検査が可能です。さらに、ウェーハサーフェス全体にわたって大量にロードされたデータセットをリアルタイムで処理できます。また、一般的な画像処理アーティファクトを排除するために設計された独自のウェーハイメージング技術であるHiDef表面取得技術も搭載しています。TENCOR 2132は、さまざまなパターンおよび欠陥検査に適しています。低コントラストと高コントラストの欠陥を識別し、1ナノメートル未満のサイズに判別することができる、非常に再現性と信頼性の高い検査を提供します。画像シフトを0。002ミクロン以下に判別することもできます。製品のパフォーマンスと顧客の要求への準拠を確保するために、気候制御された環境があります。気候制御ツールは、手動の温度調整の必要性を排除し、パフォーマンスを最適化するために、検査室で均一な温度を提供するように設計されています。その自己水平になるウェーハチャックは速く、正確なウェーハの配置を可能にします。2132には包括的なソフトウェア統合機能があります。フル機能を備えた人間工学に基づいたグラフィカルユーザーインターフェイスを備え、高度に構成可能なダッシュボードを備えているため、複数のユーザーが同時にウェーハパターンと欠陥を検査および分析することができます。また、データ取得および管理タスクの自動化をサポートし、完全なネットワーキングソリューションを提供します。この資産は、生産と研究の厳しい要求のために設計されています。モジュラー設計により、生産ニーズの拡大に合わせてモデルを拡張できます。KLAの包括的なサービスとサポートネットワーク、オンサイトサービス、24時間年中無休のテクニカルサポート、定期メンテナンスプログラムを提供しています。