中古 KLA / TENCOR 2132 #9373021 を販売中

KLA/TENCOR 2132 Performance Analyzerは、集積回路（IC）ウェーハおよびマスクの粒子、欠陥、およびプロセス変動を検出するために使用されるウェーハおよびマスク検査装置です。このシステムは、マイクロエレクトロニクスデバイスの高い歩留まりと品質保証を保証するインライン検査、ソート、および分析要件に最適です。KLA 2132は、光学顕微鏡、散乱計、分光イメージング、3Dイメージング、電子ビーム顕微鏡などの先端技術を活用しています。これらのツールは、粒子や欠陥の正確な測定、マスクやウェーハ上の特徴の正確な配置、オーバーレイ、プロファイル測定を提供します。さらに、このマシンは形状とサイズに基づいて自動欠陥分類を可能にします。TENCOR 2132検査ツールは、振動分離と温度制御を備えた堅牢で信頼性の高いエンクロージャに収容されています。検査アセットは、測定精度（0.20µm 3 σ）、高スループット（1時間あたり最大40,000ウェーハ）、最大500フレーム/秒のデータレートを誇ります。このモデルは、自動機能キャリブレーション、自動ウェハハンドリング、直感的なユーザーインターフェイスなど、多くのユーザーフレンドリーなオプションでオペレータレベルで使いやすいです。これは、労働集約的な努力を排除し、効率的で信頼できる結果を確実にするのに役立ちます。さらに、2132装置には、ウェーハの不正受容を防止するための統合粒子除去システムなどの安全機能が組み込まれています。このユニットには、汚染を廃棄するための安全で効率的な方法を提供するエネルギー廃棄物処理機があります。KLA/TENCOR 2132 Perfomrance Analyzerは、優れた粒子および欠陥検出およびウェーハ/マスク測定精度を提供する高度で信頼性の高いツールです。このアセットは、ICウェーハおよびマスクの品質管理、プロセス最適化、歩留まり最適化を保証するのに役立ちます。