中古 KLA / TENCOR 2132 #9277331 を販売中

KLA/TENCOR 2132マスクおよびウェハ検査装置は、基板上の200ナノメートル（nm）の厚さの薄い欠陥を高精度かつ分解能で検出するために使用される完全自動イメージングおよび検査装置です。このシステムは、最大60のテストサイトの自動光学イメージング、照明、および検査を並列に組み合わせています。KLA 2132は、高解像度ピクセルセンサ技術を使用して、マスク/ウェーハ表面の画像をキャプチャし、これらを事前にプログラムされた欠陥パラメータのセットと比較します。また、AASIS-TACT （Advanced Automated Structural Inspection Unit-Ternary Aerochip Trias）技術は、高感度で顕微鏡の特徴を調べることができます。AASIS-TACTは、高ピン数デバイスを高精度に検査するために特別に設計されています。3次元波形解析により基板上の欠陥を自動的に分離、測定、特性評価します。これにより、検査中に欠陥サイズ、形状、表面積、エッジ勾配などの基準を自動スキャンおよび測定する方法が2132になります。このマシンは高速スループットが可能で、1時間あたり最大8ウェーハを提供し、内蔵のBGA視点検出ツールが装備されています。これにより、最短時間での故障解析が可能になります。KLA/TENCOR 2132には、同様の画像でマスクを高速に測定するためのオートマッチ機能もあります。この資産は高度に自動化されており、ユーザーフレンドリーであり、オペレータの入力を最小限に抑える必要があります。包括的なテクニカルサポートに裏打ちされており、業界の変化する要求に応える信頼性と柔軟性を備えています。KLA 2132マスクおよびウェハ検査モデルは、高性能、ボラティリティ、精度を提供し、費用対効果が高くユーザーフレンドリーなパッケージで、自動イメージングおよび欠陥解析に最適なソリューションです。