中古 KLA / TENCOR 2132 #9167971 を販売中

KLA/TENCOR 2132マスク&ウェーハ検査装置は、マイクロチップウェーハおよびマスク上の複雑な形状内に埋め込まれたさまざまな機能を識別および評価するために使用される自動検査システムです。この広く採用されたユニットは、最高レベルの品質管理、精度、生産性を確保するのに役立つ半導体業界で使用されています。Tencorcore Laser Scanning Technology （TLST）プラットフォームに搭載されており、opitcal projection （OP）、 BI（バックサイド照明）、FS（フォーカススプリット）、through-Silicon-via （TSV H V V）という4光学構成のユニークな組み合わせが特徴です。これらの4つの構成はすべて、優れた画像解像度と画像深度を提供し、同じイメージングツール内のさまざまな角度からのターゲット機能の分析を可能にします。これは、故障解析、プロセスステップ検証、2D/3Dリソグラフィ解析、歩留まり監視などのアプリケーションに特に重要です。TLSTプラットフォーム上に構築されたKLA 2132アセットは、高度な故障解析およびプロセス監視に使用される精密エンジニアリングツールです。リアルタイムスループットと柔軟なモデル構成により、高度な画像キャプチャと分析機能を提供します。すべての光学構成には、ウェーハサーフェスフィーチャーを複数の高さデータセットにスライスすることが含まれており、ターゲット層の精度を測定し、周囲の機能を評価するのに役立ちます。これにより、製造工程で発生したエラーを迅速かつ正確に特定できます。また、TENCOR 2132は、高度な半導体と高度な電子機器検査能力を備えています。直感的なユーザーインターフェイスにより、直感的で強力な検査トレーサビリティ、堅牢なデータ分析、リアルタイムフィードバック、包括的な欠陥レビューツールなど、複数の機能に簡単にアクセスできます。これにより、高度なプロセス制御とページからページの歩留まり保証が可能になります。要約すると、2132は半導体業界がより高い精度と品質管理に達するのを助けるように設計された高度なマスク&ウェーハ検査装置です。高度な画像キャプチャと分析オプションは、リアルタイムスループットと柔軟なシステム構成と組み合わせて、高度な故障解析とプロセス監視に最適なツールです。