中古 KLA / TENCOR 2132 #9159041 を販売中

KLA/TENCOR 2132は、マスクおよびウェハ検査用に特別に設計された光学検査装置です。高度な光ベースのイメージング技術とソフトウェアを組み合わせ、マスクとウェーハ表面の包括的かつ高精度な分析を提供します。システムは、個々のコンポーネントの数で構成されています。高解像度カメラモジュールを使用して、マスクやウェーハの画像データを収集します。カメラモジュールは、さまざまな角度や向きから複数の画像を取得するために、所定のパターンでカメラとサンプルを移動する精密フレームスキャンユニットに接続されています。x軸とy軸の両方でサンプルの特徴を取得し、分析するために高精度レーザースポット位置決め機が使用されています。レーザースポットの特徴は自動的に登録され、より高い正確さのためのイメージングツールと一直線に並べられます。データが取得されると、情報は分析コンピュータに転送されます。この解析コンピュータは、データを処理し、粒子検出、テクスチャ測定、電圧コントラスト、スペクトル選択、マスク検査、ウェハ検査など、さまざまな検査を行います。それは非常に小さい特徴、欠陥および欠陥を検出し、マスクおよびウェーハに特有であるあらゆるタイプの問題を識別できます。KLA 2132は業界をリードする速度と解像度を提供し、クラス最高の再現性を提供します。5ミクロンの最小クリアランス測定が可能で、1ミクロン程度の粒子を検出することができます。また、3ミクロンのピン間クリアランスを正確に測定することもできます。さらに、自動アライメント、自動ゾーン検査、自動ダイおよびロット識別、自動欠陥認識、詳細なデータ分析機能など、さまざまな高度な機能も備えています。これにより、すべてのデータが徹底的に検査および分析され、欠陥を迅速に特定、カタログ化、報告することができます。TENCOR 2132はマスクおよびウェーハの点検のための信頼できる点検機能を提供できる真に先進的なモデルです。それは、その優れた速度と精度で、それによって検査された任意のマスクやウェーハが可能な限り最高の基準になることを保証することができ、業界の広い範囲のための選択の機器です。要するに、2132はマスクおよびウェーハの点検のための理想的な解決です。