中古 KLA / TENCOR 2132 #9139550 を販売中
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ID: 9139550
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Wafer inspection system, 8"
Bright Field Inspection
1996 vintage.
KLA/TENCOR 2132は、半導体デバイスの製造に使用されるマスクおよびウェハ検査装置です。精度、信頼性、再現性を考慮して設計された高精度、高スループットシステムです。このユニットは、プレメタル層、金属層、ゲートなど、製造プロセスのさまざまな段階で半導体デバイスを検査するために使用されます。このマシンは、製造プロセスの初期段階でエラーや欠陥を検出することができ、プロセスエンジニアはウェーハ製造チームにすばやくフィードバックを与えることができます。このツールは、光学クロスCCD電子カメラを内蔵した可変ビームイメージングアセットを使用しており、全軸で0。5ミクロン以上の解像度を提供します。これにより、線幅や間隔などの細かい欠陥を正確に検出することができます。さらに、KLA 2132モデルは、複数の層にわたる検査を単一の検査で行い、より迅速かつ詳細な検査を可能にします。3次元画像を解析し、複数の地形レベルを同時に評価します。これにより、単一のスキャンで複数のレベルで欠陥が検出され、より正確な欠陥検出が可能になります。装置はまた自動欠陥のプレビューおよび分類、手動で欠陥を識別し、見直すことの時間そして努力を救うことができます。TENCOR 2132システムは非常に適用範囲が広く、カスタマイズ可能で、顧客の要求を満たすためにカスタマイズを可能にします。このユニットはまた、機能認識の領域を拡大し、欠陥のグループを識別しやすくするだけでなく、プロセス制御を改善するための追跡および分析機能も備えています。全体として、2132は半導体デバイスの検査用に設計された高度なマスクおよびウェーハ検査機です。高解像度、高速スループット、広範な機能を提供し、欠陥の正確な検出とプロセス制御の向上を可能にします。このツールの柔軟性とカスタマイズにより、ユーザーは特定のニーズに合わせてアセットを調整することができます。
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