中古 KLA / TENCOR 2132 #9139541 を販売中

KLA/TENCOR 2132は、性能と精度を向上させるために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。これは完全に自動化されており、高解像度CCDカメラ、自動アライメントおよびフォーカシングシステム、ユニバーサルウェハローダー、およびさまざまなイメージング、測定およびアライメントソフトウェアツールなどのいくつかのコンポーネントが含まれています。高解像度CCDカメラは、最大14。2メガピクセルの解像度で、ウェーハの詳細な画像、その機能、および欠陥を可能にします。これは、カメラのイメージプレーン上にマスクまたはウェーハを安全に配置して、可能な限り最適なビューに配置できる自動アライメントシステムと組み合わされています。ユニバーサルウェーハローダーを使用して、ウェーハをユニットに迅速かつ正確にロードし、適切に表示および分析できるようにします。KLA 2132には、複数のソフトウェアツールが含まれており、機械が正確で正確なイメージングとさまざまな機能と欠陥の測定を行うことができます。正確な測定を保証するために信号の強化と欠陥の特性評価のための画像処理機能を備えています。また、同一のマスクやウェーハの画像を2つ揃えて比較・空間解析できる機能も備えています。1つのツール、SEMimageツールは、ユーザーに小さな欠陥やナノスケール機能を視覚化するのに役立つより高い倍率でSEMイメージを表示する機能を提供します。さらに、このツールには、測定およびアライメント機能の豊富なリストが付属しています。ウェーハ上のすべての機能の正確な位置決め、線幅と断面の測定、オーバーレイ公差測定、ターゲット間のアライメントなどが含まれます。また、自動および手動のデータ分析を可能にするマクロもあります。TENCOR 2132は、あらゆる半導体研究や生産設備に不可欠なツールです。高解像度カメラ、イメージングおよび測定ソフトウェア、および包括的なアライメントおよび測定機能により、生産性と品質管理が向上します。自動化された機能と手動制御オプションの組み合わせにより、高い精度と精度を必要とするタスクに最適です。