中古 KLA / TENCOR 2132 #9101228 を販売中

KLA/TENCOR 2132は、半導体生産のための包括的なソリューションを提供するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、正確で信頼性の高い欠陥検出と解析を提供します。このユニットは、さまざまなハイエンドの自動化および分析機能を備えています。brightfield、 darkfield、 RED-enhancement tri-level imagingを使用して、欠陥を正確にスキャンおよび検出し、高度なアルゴリズムと統計手法を備えており、欠陥の傾向を正確かつ正確に分析します。このマシンは、ダイ・ツー・ダイ、ダイ・ツー・マスク、チップ・ツー・チップの欠陥レベルを分析し、複雑なCDおよびオーバーレイ特性を測定することができます。欠陥検査と解析に加えて、ツールは高度な計測を実行するように構成することができます。臨界寸法（CD）、線幅、膜厚などの評価および監視のためのさまざまなパラメータを提供します。これにより、特定の生産ランが必要な仕様に準拠していることを保証するためのより包括的な方法が提供されます。この資産は信頼性が高く安定しており、耐久性が設計に組み込まれています。このモデルは、ビームスキャン用のウェーハアライメントフレームワークを備えています。また、汎用性の高いオンザフライウェーハジオメトリ識別機能、高度なフォーカス機器、およびモーター付きの高精度ステージも備えています。このシステムは、学習曲線の低さと比類のない再現性と正確さを実現する使いやすいユーザーインターフェイスを提供します。また、特殊な欠陥検出レシピを簡単に作成して、特定のアプリケーション要件に非常に高いレベルのカスタマイズを行うこともできます。このユニットのマスク&ウエハ検査機能は、半導体製造業界における品質保証のための最も厳しい要件を満たしています。スループット、歩留まり、信頼性を大幅に向上させるように設計されています。