中古 KLA / TENCOR 2132 #293815221 を販売中

KLA/TENCOR 2132マスクおよびウェハ検査装置は、マイクロエレクトロニクス機器製造のための高精度、高速自動光検査ツールです。最先端の光学検出システムと高度な光学・画像解析ソフトウェアを組み合わせることで、フロントサイドとバックサイドのマスクやウェーハの表面を迅速かつ効果的に検査することができる統合型マシンです。このユニットは、0。07 μ mから45 μ mのサイズのクリティカルおよびクリティカルでない欠陥を検出するように設計されています。KLA 2132は、高解像度5メガピクセルのリニアアレイCCDカメラマシンを使用して、毎秒2万枚の画像を撮影し、非常に詳細な画像処理と高速な取得速度の両方を提供します。3つのFlashMaxハイダイナミックレンジ光コンディショニングシステムにより、他の検査システムではできない保護されていないデバイスの裏面を含む、エッチングまたはエッチングされていないウェーハの裏面イメージングが可能になります。このツールは、標準マスクでのハイコントラスト機能の直接表示または低線量イメージングを使用してフォトマスク機能を検査することができます。さらに、TENCOR 2132は、前面と背面の両方のウェーハ表面にエッチングおよびプリントプロセス層を検査するのに適しています。高度な画像解析アルゴリズムを使用して、欠陥を迅速かつ正確に特定し、プロセスのパフォーマンスを評価し、時間の経過とともにウェーハのパフォーマンスの変化を追跡します。2132で利用できる統合されたハードウェアおよびソフトウェアはそれを優秀なマスクおよびウェーハの点検用具にします。幅広い欠陥を検出できるだけでなく、信じられないほど信頼性が高く高速です。KLA/TENCOR 2132は、正確なイメージング、生産性の向上、検査時間の短縮を実現し、マスクおよびウェーハ欠陥の検出および評価に最適なソリューションです。