中古 KLA / TENCOR 2132 #293753279 を販売中
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ID: 293753279
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 1995
Wafer inspection system, 6"-8"
Inline-loading
Auto wafer loader
(25) Wafer cassettes
1995 vintage.
KLA/TENCOR 2132は、半導体および光学部品の高精度分析を目的としたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムにより、表面欠陥、回路、集積回路、および膜厚や均一性を含むその他の光学部品を詳細に分析できます。このマシンは、1ナノメートルの解像度を持つことができる自動レーザービームイメージングユニットを使用しており、迅速で正確で欠陥のない結果を提供することができます。KLA 2132は、現在の自動ウェハ検査システムと容易に統合できる自動マシンです。完全に囲まれた、ほこりのない環境と高度な自動化機能を備えています。自動検出ツールにより、サーフェス、回路、コンポーネントを迅速かつ正確に分析できます。さらに、アセットには標準画像とのより詳細な比較を可能にするオンボード画像処理ソフトウェアがあります。ウェハインスペクションモデルは、高解像度のイメージングカメラを搭載し、さまざまな角度から高精細な画像を得ることができ、表面欠陥や均一性を正確に比較することができます。TENCOR 2132は、さまざまな表面を検査するために2種類のレーザー技術を使用しています。暗視野の技術は暗い表面の大きい欠陥の明るいイメージを作成します。明るい分野の技術は明るい表面の暗い欠陥の暗いイメージを作成します。また、目に見えない粒子、ピンホール、粒子境界ボイドなどの非常に小さな欠陥を検出することができ、人間の目では見えない粒子を検出することができます。これは、画像の解像度を1ナノメートル（1nm）に高める自動レーザービームイメージングシステムによって達成され、優れた結果をもたらします。2132は多数の製造工程と一緒に使用することができます。SEMI （Semiconductor Equipment and Materials International）は、S2-2030規格の一環として認定されており、より大きな処理システムとの互換性を確保しています。さらに、高スループットのデータ取得も可能で、短時間で大量の画像を撮影することができます。KLA/TENCOR 2132は、迅速かつ正確で欠陥のない結果を提供する高度な自動マスクおよびウェーハ検査機です。高解像度イメージングカメラ、自動検出ツール、自動レーザービームイメージング資産、およびSEMIのS2-2030規格との互換性により、半導体および光学業界で広く使用されています。これらの機能により、KLA 2132はウェハ製造およびマスク検査において精度と信頼性を提供することができます。
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