中古 KLA / TENCOR 2132 #293749965 を販売中
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KLA/TENCOR 2132は、マスクおよびウェーハ製造業界向けに特別に設計された先進的な半導体検査プラットフォームです。これは、製造プロセスのより良い制御を容易にし、製品開発と歩留まり改善を加速するための強化された分析を提供します。この装置は、多軸アライメントシステム、高解像度測定ヘッド、プロジェクションオプティクス、画像取得および処理ユニット、およびレーザー変位センサで構成されています。多軸アライメントマシンにより、ウェーハの正確な位置決めが可能になり、キャプチャされた画像に検査に必要なすべての関連データポイントが含まれます。高解像度測定ヘッドには、検査から非常に詳細な画像を取得するための高度な光学部品が含まれています。プロジェクションオプティクスは、視野の拡大と光分布の最適化を可能にし、信号対ノイズ比を大幅に向上させます。レーザー変位センサは、イメージセンサーに対してウェーハの高さ、傾き、高度を測定するために使用されます。また、異なるウェーハ材料、厚さ、形状にも迅速に焦点を合わせることができます。KLA 2132の画像取得および処理ツールは複雑で強力です。必要なAOI画像サイズ、画質、解像度を自動的に決定し、ユーザーのインタラクションを最小限に抑え、信頼性の高い結果を保証します。強力な画像取得および処理アセットには、高精度で欠陥を検出するための特殊なフィルタや、サブピクセル部品の選択や自動フォーカシングなどのその他の機能が含まれており、効率的な欠陥検出と分類に大きく貢献します。TENCOR 2132は、さまざまな欠陥タイプを高精度で検出、特性評価、分類することができます。高速で高解像度のイメージング機能により、さまざまな予期しない欠陥を検出できます。その高度な顕微鏡の設計とフィールドの広い深さは、より重要な検査を可能にし、より困難な問題に対処するのに役立ちます。全体として、2132の強力なイメージングモデルと堅牢な機能により、信頼性と高速なマスクおよびウェーハ検査の基礎となります。その豊富な機能セットとインテリジェントな画像処理機能により、欠陥を迅速かつ正確に特定できます。これらの機能は、高度なモーションコントロールと超精密なアライメントと組み合わせることで、最高レベルの欠陥検出を可能にし、高品質の生産に安定性と信頼性を提供します。
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