中古 KLA / TENCOR 2132 #293749626 を販売中

KLA/TENCOR 2132は、ハイスループット半導体製造を可能にするように設計された高性能マスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、半導体製造プロセスで使用されるマスクとウェーハの両方の微小欠陥を容易かつ正確に検出できるように設計された一連の性能駆動機能を備えています。ユニットの中心には、13倍の個々のCCDで構成された5メガピクセルのデジタルイメージングサブシステムがあります。これらのイメージングサブシステムは、高感度でさまざまなマイクロ欠陥を迅速かつ正確に検出できます。すべての画像情報は、マシンのマルチスキャン技術を使用して処理され、最小の欠陥を識別して分離することができます。この技術はまた、取得した画像の迅速な処理と分析を可能にします。このツールは、3D測定に必要なものやさまざまな欠陥評価技術を含む、さまざまな欠陥センサーと互換性があります。また、絶縁元素の検査、グロス欠陥チェック、パターンの完全性など、幅広い不良パターン解析技術を可能にします。このアセットは、金属、ポリシリコン、ポリCVD、酸化物など、幅広い材料で動作するように設計されています。KLA 2132のユーザーインターフェイスは直感的で簡単で、モデルの機能を簡単にナビゲーションできます。複雑なデータ型を含むさまざまな画像セットを使用でき、複数の自動ジョブシーケンスを設定できます。さらに、テキストデータとカラーイメージの両方で詳細な結果を表示できる高度にカスタマイズ可能な検査レポートページを提供します。また、拡張スロットが内蔵されているため、ソフトウェア容量とイメージング機能を追加しやすくなります。また、自動検査レシピ機能や、メニュー駆動のサンプル/ロット設定メニューも備えており、新しい基板の前に検査をセットアップすることができます。TENCOR 2132は、ESD保護ゲート、検疫保護ゲート、自動ガス効率の高い操作など、さまざまな安全機能を備えています。2132は市場の最先端の、信頼できるマスクおよびウェーハの点検システムの1つとして立ちます。その強力なイメージング技術、直感的なユーザーインターフェイス、信頼性の高い安全機能により、高度な半導体製造設備に最適です。