中古 KLA / TENCOR 2132 #293747978 を販売中

KLA/TENCOR 2132は、半導体製造のリソグラフィ欠陥を検出するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。高度なディープラーニングアルゴリズムを使用して、ウェーハとレチクルの両方の欠陥を識別、セグメント化、分類し、製造歩留まりを向上させ、プロセスの納期を短縮します。KLA 2132システムは、業界をリードする画像取得ユニットを提供しています。デュアルセンサーは、ステレオで1ウェーハあたり最大200枚、ピクセルあたり最大256ビットの薄膜層をキャプチャできます。さらに、TENCOR 2132マシンは最大4つのウェーハを同時に検査することができ、検査時間をさらに短縮できます。このツールはまた、28nmノードの欠陥分類機能を内蔵しており、マスクとウェーハの30種類以上の欠陥を検出して分類することができます。これには、垂直、水平、傾いたラインの起伏や汚染、コーナリングの違い、ライン停止、アンダーカットなどの機能が含まれます。この検出機能により、2132アセットは固定パターンとランダム欠陥の両方を識別できます。KLA/TENCOR 2132モデルは、高精度のイメージングおよび欠陥分類機能を超えて、多数のプロセス制御および監視機能を提供します。ウェーハのアライメントとテスト時間の最適化を自動化し、ウェーハ検査にかかる時間を短縮します。また、画像ベースの遅い高速スキャン機能も備えており、検査時間を短縮し、プロセスの迅速なフィードバック制御を可能にします。また、KLA 2132は、マスクとウェーハの両方に対応した測定機能を備えており、プロセスパラメータの正確な測定が可能です。最後に、TENCOR 2132は、検査プロセスを完全に制御できる使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。包括的な機能と機能を備えた2132マスクおよびウェーハ検査システムは、半導体産業に強力で正確なソリューションを提供し、より効率的で信頼性の高い製造プロセスを可能にします。