中古 KLA / TENCOR 2132 #293665007 を販売中
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KLA/TENCOR 2132は、フォトリソグラフィックマスクの現場写真を測定するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。レーザースキャン、複数のビデオカメラ、オブジェクト識別アルゴリズムなどの新しい技術を組み合わせて、マスク上の重要な機能を検出して測定します。KLA 2132システムは、マスクの表面をスキャンすることができ、線やパターンなどの非常に正確な機能、およびピッチ、アライメント、対称性などのその他の重要な機能を検出することができます。レーザーを用いてマスク全体をスキャンし、幅広い角度からライン幅を正確に検出・測定することができます。さらに、TENCOR 2132は、マスクの表面全体に詳細な画像をキャプチャすることができる複数の高解像度ビデオカメラを使用しています。2132はマスクおよびウエハを点検するための信頼でき、正確な用具であることが証明されました。これは、最小の機能の検出を可能にし、マスクの表面上の各機能の適切なアライメントを可能にする強力なイメージングマシンを持っています。さらに、KLA/TENCOR 2132は、マスク表面のパターンや欠陥を迅速かつ正確に認識できる高度なオブジェクト識別アルゴリズムを使用しています。さらに、KLA 2132は複数の検査データを解析することができ、検査プロセス中に発生した問題や欠陥を迅速に特定することができます。このツールには、何千もの標準ICレイアウトパターンのライブラリが含まれており、パターン内の標準外の機能を検出することができます。また、TENCOR 2132は、マスク上の各機能のアライメントを自動的に解析して正確な位置決めを行うことも可能です。要するに、2132は高度なレーザースキャン、ビデオカメラ、およびオブジェクト識別アルゴリズムを使用して、幅広いアプリケーションのためのマスク上の機能を正確に検出して測定する高度なマスクおよびウェーハ検査アセットです。その強力なイメージングと解析機能により、生産前にIC設計の品質を検証するための信頼性の高いツールとなります。
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