中古 KLA / TENCOR 2132 #293603077 を販売中

KLA/TENCOR 2132は、自動欠陥検出、分類、レポート作成を通じて、ウェーハ歩留まり向上を促進するように設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高解像度イメージングサブシステムと強力な欠陥レビューソフトウェアと汎用性の高いハンドリングユニットを組み合わせて、クリスタルクリアな欠陥画像と実用的な欠陥レポートを1台のマシンで提供します。マスクおよびウェーハ検査ツールは、5倍および10倍の光学倍率でも、標準ノードマスクとアドバンスドマスクの両方の表面を正確にイメージするように設計されています。高精度の表面安定化を備えた完全電動光学ステージは、高性能な5メガピクセル電子乗算充電結合デバイス（EMCCD）カメラと相まって、最適な信号対ノイズ比と最小限の画像ぼやけを実現します。すべての信号処理は、自動フラットフィールド補正とフォルト検出によりリアルタイムで行われます。強力な欠陥レビューソフトウェアを使用すると、ユーザーは膨大な欠陥データをすばやくソートして、さらなる調査を必要とする欠陥を特定して分離できます。この資産は、手動および自動化された欠陥レビューの両方を提供し、特定の欠陥基準を設定できる柔軟なユーザーコントロールと多数のパラメータを変更して、高忠実度で正確なレポートを迅速に提供します。汎用性の高いハンドリングモデルにより、マスクおよびウェーハ検査装置は、アプリケーションに応じてほぼすべてのデバイスまたはプロセスとインターフェースすることができます。このシステムは、データと情報の摩擦のない自動転送を提供し、シングルステージプロセスとマルチステージプロセスの両方、完全に自動化されたデータ収集と比較、およびさまざまなアプリケーションに合わせて設定可能なソフトウェアとハードウェア設定をサポートします。これらのすべての機能により、KLA 2132はマスクおよびウェハ検査のニーズに対して信頼性が高く効率的な選択肢となります。ユニットの高度なアーキテクチャは、比類のない性能と高純度のウェーハ歩留まりを提供し、プロセス監視と制御を改善し、お客様に最高の品質と信頼性を保証します。