中古 KLA / TENCOR 2132 #293586850 を販売中

KLA/TENCOR 2132は、最大検出能力、広域カバレッジ、スループット向上を目的に設計されたマスク&ウェハ検査装置です。このシステムは、マスクとウエハの異なる表面層を同時に撮影するための高度な光検出技術（Coherent Back ScatterとUV）を利用しています。また、丸み計測器、ウェーハトランスポートモジュール、複数の分解能測定オートサンプラーも含まれています。CBS （Coherent Back Scatter）は、マスクとウェーハパターンの両方を迅速かつ正確に検査するのに適しており、5 sec/sheetという短い検査時間の検証ツールとして使用されています。UVユニットにはUVランプとUV光源が含まれており、回折率を下回ってもあらゆるタイプの欠陥に高い感度を提供します。丸みのある計測器は、高速でナノメートル分解能でウェーハの循環を測定する複数の4軸マイクロフォーカス加速度センサーを内蔵しています。ウェハトランスポートモジュールは、ウェハを検査エリアからオートサンプラーに転送します。オートサンプラーは、ウェーハ表面にランダムに分散された非常に小さな構造物を正確に検査できるように設計されており、サイズが150nmまでの構造物のアライメントと測定が可能です。KLA 2132は、ウェーハエッチングされたパターンや欠陥の自動評価に適した、費用対効果の高い信頼性の高いマスク&ウェーハ検査機です。このツールは、ダイ・バイ・ダイ検査および複数の形態解析に対応しており、そのハイエンドのカメラは、複雑な形状やパターンのリアルタイムイメージングを提供します。このデバイスには、高度なパターンマッチングアルゴリズム、および包括的なフォルトカバレッジ機能、およびフィーチャーベースのテスト分析が装備されています。全体として、TENCOR 2132は、高度な技術と特殊なソフトウェアアプリケーションで構成された多目的で洗練されたユーザーフレンドリーな資産です。その強力なフィルタおよび許容測定アルゴリズムは、あらゆる製造工程で小さな欠陥を検出し、ウェーハまたはマスクの正確な品質と機能を確認することができます。