中古 KLA / TENCOR 2132 #192495 を販売中

KLA/TENCOR 2132は、半導体製造用に設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。一般的な欠陥検査、複雑な欠陥タイプの自動検査（CAI）、究極の欠陥確認のためのレビュー機能を提供します。KLA 2132は、6インチ（150 mm）の検査機能を備えた光学検査システムを提供し、複数のウエハサイズ間の迅速な切り替えが可能です。100 μ mの視野（FOV）を約0。2 μ mの分解能で提供することができ、ナノメートルスケールの欠陥を正確かつ正確に検出することができます。また、ブリッジ、傷、亀裂、粒子、ピンホールなど、粒子と光学的欠陥の両方を効果的に識別できる高度な欠陥検出アルゴリズムを備えています。このマシンは、独自の光学スキャンアーキテクチャを使用して、画像を迅速かつ正確に取得および処理します。これにより、幅広い欠陥タイプを検査するのに十分な被写界深度が得られます。画像を参照画像と比較して、欠陥関連のバリエーションを確認します。さらに、TENCOR 2132には、欠陥分類、自動欠陥検出、欠陥解析、欠陥レビュー、欠陥処分などの欠陥検査機能が含まれています。このツールには、ユーザーに検査の明確で詳細な結果を提供するユーザーフレンドリーな制御ソフトウェアが含まれています。また、画像の視覚化と分析を強化するための「クラス最高」ツールもカスタマイズされています。インターフェースにより、オペレータはパラメータを簡単に指定し、結果を表示し、分析を素早く絞り込むことができます。2132は潜在的な欠陥のための表面を点検するための非常に多目的で、信頼できる用具です。その高度なアルゴリズムと光学アセットにより、ナノスケールの欠陥を正確かつ正確に検出し、ユーザーに明確でわかりやすい結果を提供します。このモデルは、高レベルの検査および欠陥解析を必要とするあらゆるメーカーにとって理想的なソリューションです。