中古 KLA / TENCOR 2132 #139716 を販売中
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ID: 139716
Wafer defect inspection system
Includes:
KLA / TENCOR 2132 wafer inspection unit (primary)
KLA / TENCOR 2132 wafer inspection unit (secondary)
KLA / TENCOR 2552 data analysis station
KLA / TENCOR 2132 power line conditioner
Specifications:
KLA / TENCOR 2132 wafer inspection unit (primary):
Label model: KLA-2131, front panel reads "2132"
Chuck installed: 8"
Power cable intact, all other cables cut
Front upper panel cover shocks / struts are worn
Missing: PC, 1-2 body panels
Power rating: 120VAC, 25A, 50/60Hz
1994 vintage
KLA / TENCOR 2132 wafer inspection unit (secondary):
Label model: KLA-2131, front panel reads "2132"
Body panel does not fully mount
Power rating: 120VAC, 3-phase, 25A, 50/60Hz
1994 vintage
Components:
KLA PC/IF 486/66 PC system, p/n 750-660859-00
Dual monitors
Keyboard
Trackball
Modules installed:
KLA PC/IF 486/66 PC system, p/n 750-660859-00
KLA Memory Controller Phase 3, p/n 710-658232-20
FAB, p/n 710-658085-00
(2) Mass Memory 2 Phase, p/n 710-658051-20
(2) KLA CornerTurn 3, p/n 710-655651-20
(2) Y-Interpolator, p/n 710-658172-20
(2) X-Interpolator, p/n 710-658177-20
UNIQUENESS Processor, p/n 073-658045-00
Alignment Processor Phase 3, p/n 710-658041-20
Alignment Processor (AP1), p/n 710-65803620
Defect Filter (H.R.), p/n 710-659724-00
Defect Processor Phase 3, p/n 710-658075-20
KLA DP, p/n 710-650099-20
KLA DD, p/n 710-650044-20
KLA DF FAB PH3073, p/n 073-65836-00
IB Module
RIF Module
KLA / TENCOR 2552 data analysis station:
Label model: KLA-2551X, front panel reads "2552"
Power rating: 120VAC, 20A, 50/60Hz
1994 vintage
Components:
INTEL XBASE8TE8F-C PC computer tower
APC BackUPS
Dual monitors
Keyboard
Trackball
KLA / TENCOR 2132-LC power line conditioner:
P/N: 750-653120
Power rating: 9kVA, 416V, 21A, 3-phase, 50/60Hz
Input: 3-phase, 50/60Hz
Output: 3-phase, 208V/120V
1996 vintage
System currently de-installed.
KLA/TENCOR 2132は、フル機能を備えた自動マスクおよびウェハ検査装置です。高度で高性能なセンサと高度なイメージング技術を備えており、高精度で正確な検査が可能です。対象領域の明るい線、明るい欠陥、暗い欠陥イメージングセンサーを使用し、欠陥の分類と分類を改善し、高速自動欠陥のレビューと欠陥の処分を行います。このユニットは、卓越した欠陥識別と正確な欠陥処分を1時間あたり最大60個のウェハに提供します。これは非接触で非破壊的な機械であり、検査プロセス全体を通じてウェーハから基板への完全性を保証します。高度なセンサ技術により、シリコン、フォトレジスト、ガラス、セラミックスなどのさまざまな基板を最大300mmのサイズで分析することができます。アセットの高度なイメージング技術には、さまざまなイメージングモードが組み込まれており、あらゆるグレードの半導体ウェーハを検査することができます。さまざまなレンズや光学プリセットを介してウェーハ表面の高解像度画像をキャプチャすることで、ウェーハの包括的な概要を迅速かつ簡単に把握できます。高倍率画像、平面画像、3D画像の3種類のイメージングモードがあります。このモデルは、欠陥の分類と分類の機能も向上しています。明るい線、明るい欠陥、暗い欠陥画像と異なる角度からの光を組み合わせることにより、機器は高精度で欠陥を特徴付けることができます。欠陥はリアルタイムで自動的に分類され、その性質の重大さに基づいてグループに分類されます。高度な3D欠陥解析モジュールにより、ウェーハ表面欠陥の詳細な3Dマップを作成できます。KLA 2132は、精度と精度を高めて欠陥を検出し、廃棄するための貴重なツールです。堅牢な機能により、ウェハスクラップの歩留まりを向上させ、さまざまなウェハ検査ニーズに対応します。
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