中古 KLA / TENCOR 2131E #9384640 を販売中
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KLA/TENCOR 2131E装置は、さまざまな集積回路の完全性と均一性を評価するために設計されたマスクおよびウェハ検査システムです。高度な光学顕微鏡技術を使用して、さまざまな基板に存在する可能性のある小さな欠陥や汚染物質を迅速かつ正確に診断および修復します。このユニットはKLA 2131Eマシンプラットフォームに基づいて構築されており、イメージングとプロービングの両方が可能で、24ビットのフルカラーイメージを正確に生成し、さまざまな基板で精密測定を行うことができます。高度に進化した高解像度アルゴリズムを利用し、極めて低い欠陥で高速に画像を撮影します。また、幾何学的センサーと高速デジタルイメージング技術を使用して、1ミクロンの欠陥を検出および測定します。迅速かつ正確な測定機能により、複数のデバイスタイプにわたって歩留まりが向上します。TENCOR 2131 Eは、1時間あたり最大20,000個のウェーハを検出し、大量のウェーハを処理する能力を備えています。このツールは高度に調整可能で、ユーザーは各サンプリングセットのニーズに合わせてアセットを構成することができます。また、銅やアルミニウムなどの金属フィルムや、セラミックやガラスなどを検査し、それぞれの素材のプロファイルを作成する機能も備えています。また、製品の性能に影響を与える可能性のあるオーバーコーティングやその他の汚染物質を測定することができます。2131 E機器はまた、従来の光学顕微鏡で検出されていない可能性のある特定の欠陥や小さな粒子を検出する機能を持っています。このシステムは、表面から裏面まで、ウェーハの粒子汚染や欠陥を検出することができます。また、ウエハー内に埋め込まれた異物だけでなく、フォトレジストやエッチング欠陥による電気的損傷も検出できます。このユニットには、高度な欠陥分類や画像処理ツール、自動欠陥リスト、高速バッチレポートなどの追加機能もあります。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと機械の非常に視覚的なセットアップにより、操作が簡単になり、必要なデータをすばやくコンパイルできます。KLA 2131 Eツールは、さまざまな材料を正確かつ迅速に検査するための理想的なソリューションです。欠陥の最小限の検出と分析が可能であり、迅速かつ正確なイメージング機能により、さまざまな業界アプリケーションに最適です。
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