中古 KLA / TENCOR 2131 #9383244 を販売中

KLA/TENCOR 2131は、信頼性と高精度の欠陥検出を提供するように設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。半導体ウェーハ、フラットパネルディスプレイ、不揮発性メモリチップ、有機発光ダイオード、太陽電池など、さまざまな基板検査が可能です。自動レシピビルディング、ウェハーマッピング、欠陥認識、分類などの機能があります。このシステムは、自動化されたアライメントメカニズムを使用して、基板を統合されたセンサー要素を持つウィンドウに正確にアライメントします。これにより、マスクとウェーハの位置が非常に正確になり、ずれによるエラーを防ぐことができます。内蔵センサは、光学技術とイメージング技術を組み合わせて基板の幅広い欠陥を検出します。これらの技術には、明るいフィールド・イメージング、暗いフィールド・イメージング、スルー・プローブ・イルミネーション（TPI）、エリア・スキャン・イメージングなどがあります。このユニットは、粒子や汚染、空隙や開閉、しわ、涙、位相異常などのさまざまな欠陥を検出することもできます。欠陥検出機は、欠陥分類およびレビューモジュールと統合され、技術者が結果を評価するのを支援します。ツールによって収集された情報は、効率的かつ正確な欠陥分析のために、ユーザー定義のデータベースに保存されます。KLA 2131は人間工学に基づいたユーザーインターフェイスで設計されており、操作が簡単です。GUIは、資産の状態に関する明確で簡潔な視覚的フィードバックを提供し、技術者が検査プロセスを監視することを容易にします。さらに、さまざまなユーザー定義パラメータを柔軟に受け入れることができるため、特定の業界の要件を満たすように高度にカスタマイズできます。さらに、このモデルには、自動機器の健康評価を容易にする診断ポートが装備されており、技術者はあらゆる問題を迅速に特定して対処することができます。全体的に、TENCOR 2131はマスクおよびウエハの信頼でき、正確な点検のために設計されている高度システムです。柔軟性が高く、幅広い基板や欠陥タイプに適しています。また、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えているため、技術者にとって使いやすく、カスタマイズ性が高いさまざまな機能が追加されています。