中古 KLA / TENCOR 2131 #9269112 を販売中

KLA / TENCOR 2131
ID: 9269112
Wafer defect inspection system.
KLA/TENCOR 2131は半導体産業のために設計された高性能検査装置です。このシステムは、高度なイメージング技術と革新的な検査ツールを組み合わせ、業界をリードする生産性と品質保証を提供します。このユニットは、物理寸法測定、光学欠陥検査、電気故障解析、フォトアシスト&スキャン解析など、あらゆるマスクおよびウェハ検査プロセスに適しています。KLAマシンには、カメラエリアアレイ、グローバルシャッター、プログレッシブスキャンカメラなど、さまざまなセンサーとイメージングシステムが装備されています。これらのセンサは、フォトマスクからウェーハまで、さまざまな検査でランダムやシステマティックなどの欠陥をすばやく検出できます。このツールはまた、テレセントリックレンズや回折光学などの高度な光学系と、柔軟なデータ分析とレポート作成のための独自のソフトウェアを使用しています。このソフトウェアを使用すると、表面評価、画像認識、偏差解析などの高度なアルゴリズムを検査タスクに適用できます。また、連続プロセスモニタ(CPM)と呼ばれるタイプの欠陥検出が可能です。CPMは、製造プロセス中にリアルタイムで欠陥を検出、特徴付け、警告することができます。KLA 2131は、マスクやウェーハの検査時間を短縮し、製造業者のコスト削減と歩留まり向上を支援するよう設計されています。また、1台のウエハで複数のダイを同時に検査し、検査時間を短縮することで、スループットと歩留まりを向上させます。装置には、操作とメンテナンスを容易にする多数の機能が付属しています。これらには、制御用の直感的なユーザーインターフェイス、簡単な操作のためのタッチスクリーン、データ、診断などの機能に簡単にアクセスできる直感的なコマンドが含まれます。このシステムは、自動校正プロセスを使用してセットアップと校正時間を短縮することもできます。TENCOR 2131マスクおよびウェハ検査ユニットは、半導体業界にとって堅牢で高精度で信頼性の高い機械です。高度な光学技術とイメージング技術と高度なソフトウェアを組み合わせ、生産性と品質保証を向上させます。このツールにより、ユーザーは検査時間とコストを削減しながら、歩留まりとスループットを向上させ、信頼性の高い効率的な検査ソリューションを提供できます。
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