中古 KLA / TENCOR 2131 #9236722 を販売中

KLA/TENCOR 2131マスクおよびウェーハ検査装置は、幅広い材料および形状の半導体部品およびデバイスの製造において、最高レベルの精度と感度を実現するよう設計されています。先進的な光学技術とデジタル画像処理を駆使し、製造段階での最小欠陥やプロセス異常の確実な検出を可能にします。薄膜フォトマスクの検査、膜厚、透明度、直線性、厚さの均一性の測定など、ユーザーの要望に応じてさまざまなウエハやマスクの検査・測定が可能です。KLA 2131の光学系は、優れた感度でさまざまなマスクの特徴とパラメータの検査を可能にするように設計されています。これらの特徴とパラメータには、フォトマスクライン、格子、正方形と円、トレンチ、スペースと分離、線幅、パターン、デザイン、プロファイルなどの微視的なサブマイクロ機能が含まれます。この光学系は、表面スキャンの感度を向上させるために、フルフィールドの光インコヒーレンスとZライフラインのダイナミックを採用しています。Zライフラインを動的に利用することで、精度と感度の高さで最小の欠陥を検出することができます。特殊なパターン認識ソフトウェアを活用することで、ウェーハやマスクの上面と下面の両方に様々な形状や構造を識別することができます。このソフトウェアはまた、品質保証のための形状とパターンの比較を可能にし、表面フィーチャーの詳細な分析を可能にします。このソフトウェアは、正常に完了したプロセスと、問題または異常があるプロセスを区別できます。TENCOR 2131は、品質管理エンジニアにさらなる分析と注釈機能を提供し、ポイント&クリック形式でデータを提供して、問題の迅速な特定を支援します。レポート生成ユニットを内蔵したこのマシンは、結果を正確かつ正確に報告することができます。さらに、ソフトウェアは、顧客定義の光源、マスク、および特定のパラメータと結果を比較することができます。2131マスクおよびウェーハ検査機は、半導体部品およびデバイスの製造において優れた精度と感度を提供します。その先進的な光学系、パターン認識ソフトウェア、レポート生成機能により、最も精密な部品でも処理するのに理想的な選択肢となります。この高度な検査・測定ツールは、品質保証のための形状やパターンの正確な比較と不規則性の信頼性の検出を可能にします。