中古 KLA / TENCOR 2131 #9210335 を販売中

KLA/TENCOR 2131は、半導体製造プロセスで欠陥を検出するために使用されるマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、5軸電動ステージを使用して、回路性能に悪影響を及ぼす可能性のある欠陥の画像を収集します。このユニットには、2つの電子ビーム技術カソード線管（CRT）と高精度デジタルカメラが装備されており、特徴の画像を取得します。さらに、カラーマスキングやパターン認識技術など、欠陥検出のプロセスを自動化するために設計されたソフトウェアツールも備えています。KLA 2131は、両方の画像取得システムを組み合わせることで、従来の多くのウェハ検査システムよりもはるかに高い解像度の画像を取得することができます。また、走査型電子顕微鏡（SEM）イメージング、オートフォーカス機能、レーザー検出/解決検査など、いくつかの異なるテストモードも備えています。これらの機能により、優れた検出およびイメージング性能が得られ、欠陥を迅速に識別および整流することができます。このツールには、高精度イメージングのための工業用グレードのテレセントリックレンズと光学機器の範囲も装備されています。これらのレンズは、特定の角度や解像度で画像を取得するように構成することができます。さらに、このアセットは、簡単なレビューと比較のために、検索可能なデータベースに画像を保存する機能を備えています。TENCOR 2131は、欠陥検出と整流に優れた性能と精度を提供するため、半導体メーカーにとって強力なツールです。また、手作業による検査を削減し、時間を節約することで、生産コストの削減にもつながります。最後に、2131年以内の画像取得システム、ソフトウェアツール、テレセントリックレンズの組み合わせにより、最も先進的なマスクおよびウェーハ検査システムの1つになります。