中古 KLA / TENCOR 2131 #9186639 を販売中
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KLA/TENCOR 2131はマスクおよびウェーハの点検装置です。高度な高速測定、光学、統計解析ソフトウェアにより、マスクとウェーハ欠陥検査の両方に超高解像度イメージングを提供する、コンピュータ制御の自動化されたデバイスです。高度な光学技術により、半導体マスクやウェーハに優れた画像ディテールと画像認識機能を提供します。光学系には、高解像度CCD(充電結合デバイス)カメラを搭載したレーザー照明システムを採用し、明確な欠陥画像を提供します。低ノイズのリニアダイオードアレイと高解像度のエアスペースズームレンズを内蔵しています。カメラユニットは、検査項目を最大256X倍に拡大し、最大ラインと空間測定値を0。12ミクロンとすることで、小さな特徴重大欠陥検出を行うのに十分な分解能と感度を提供します。KLA 2131は、クリーンでほこりのない環境を提供するために分離することができる複数のサンプルステージを備えています。自動化されたビジョンマシンは、従来のイメージングを超えた欠陥の自動検出と識別を提供します。また、欠陥が検出された後もスキャンを続けることで、ブリッジなどの弱い欠陥を分析することができます。このツールは、高度なソフトウェアアプリケーションの配列を組み合わせて、包括的な画像解析と欠陥分類を提供します。これには、欠陥分類、エッジ検出、極性解析などの欠陥特性評価のための高度な光学ツールの包括的なスイートが含まれています。また、欠陥分布の有用な対策を提供する様々な統計および可視化ツールが含まれています。TENCOR 2131検査資産は、高い生産性と精度を提供し、欠陥を正確に分類および報告するための迅速な欠陥識別および欠陥分類を提供します。その高度なソフトウェアは使いやすさのために設計されており、グラフィカルユーザーインターフェイスにより、ユーザーはデータを迅速かつ簡単に監視、分析、レビューすることができます。全体として、2131は強力なマスクおよびウェーハ検査モデルであり、高解像度イメージング、高度な画像解析および欠陥分類機能、および優れたソフトウェア機能を提供します。高度な光学技術とソフトウェア技術を組み合わせることで、半導体検査の信頼性と費用対効果の高いソリューションとなります。
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