中古 KLA / TENCOR 2131 #293749625 を販売中

KLA/TENCOR 2131は、マスク&ウエハ検査装置です。マイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用されるウェーハやマスクの欠陥を検出するために使用されます。この装置は堅牢で信頼性の高い設計となっており、ダイボンディング、ワイヤボンド、裏面検査など、幅広い用途でマスクとウェーハの両方の欠陥を検査することができます。KLA 2131は、高分解能の多波長スキャン電子顕微鏡（SEM）イメージングシステムを使用して、マスクとウェーハの両方の欠陥を検出します。このユニットは、特許取得済みのシールドエネルギーアセンブリ（SEA）ライトシールド技術を備えており、オペレータにシールドされた環境を提供して、すべての欠陥が正確に識別および検査されるようにします。高分解能の4kV電子ビームを搭載し、大小の欠陥の検出に最適です。TENCOR 2131では、高度な欠陥検出アルゴリズムと画像解析を利用してウェーハやマスクのパターンを対照させ、さまざまな欠陥を最も正確に検出することができます。この機械は、不透明化、ショーツ、剥離、異常、ボイド、ピンホール、およびその他のさまざまな故障タイプなどの欠陥を検出する機能を備えています。このツールは、画像マッチング、集積回路イメージング、高度なパターン認識、フォトリソグラフィなど、幅広い用途に使用できます。また、ウェーハキャリアアセットも自動化されており、高速での自動ウェーハ検査が可能です。ウェハキャリアモデルには、複数の領域の欠陥を同時に検出するようにプログラムすることができるウェハマルチスコープが含まれています。機器には、機器の機能やプログラムを制御するためのモニター制御モジュールも含まれています。2131は、高解像度画像および欠陥検出機能を提供する、最先端のマスクおよびウェーハ検査システムの1つです。自動化されたウェーハキャリアシステムにより、オペレータはより高速で効率的なプロセスを提供し、より正確に完了することができます。このユニットは、ダイボンディング、ワイヤボンド、裏面検査など、さまざまな用途に適しています。