中古 KLA / TENCOR 2131 #293587730 を販売中

KLA/TENCOR 2131は、レチクルやウェーハの大きな欠陥を正確に検出するために設計されたマスク&ウェーハ検査装置です。これは、物理ベースのモデルのライブラリと組み合わせて、幅広い欠陥タイプを正確に識別する高度な高解像度イメージングシステムを使用しています。ディフェクトレビュー、マスクツーウェーハ比較、アイソレーションなど、さまざまな検査シーケンスに対応することで、レチクルやウェーハを迅速かつ確実に検査することができます。高解像度のイメージングツールを搭載し、優れたイメージコントラストと広いダイナミックレンジで欠陥をキャプチャする機能を備えています。数ナノメートルのサイズまで正確に欠陥を検出でき、ペリクル、ガラスウェーハ、クォーツウェーハ、ICウェーハなどの幅広い入力材料を柔軟に処理できます。資産のライブラリモデルは、欠落している電気部品からその他の多くの物理的欠陥まで、さまざまな潜在的な欠陥タイプを迅速かつ正確に識別するように設計されています。モデルのライブラリは、物理ベースのモデルと、エッジ欠陥、ライン欠陥、複合欠陥、欠落要素などの基本構造モデルで構成されています。このライブラリは、ユーザーが独自のカスタマイズされたモデルを構築し、低輝度の偏光などの困難な照明条件下でも欠陥を検出することができます。また、画像解析やデータ補正、強化、シェード均等化など様々な操作が可能な強力なデータ解析ソフトウェアを搭載し、幅広い素材の欠陥検出を向上させています。データ分析および欠陥検出ソフトウェアにより、OEMは根本原因の洞察を得て、欠陥を評価および分析し、設計者にタイムリーなフィードバックを提供することができます。KLA 2131は、幅広いマスクおよびウェーハ検査アプリケーションに理想的なツールであり、高精度とスループットを保証します。直感的なユーザーインターフェイス、強力なライブラリモデル、データ分析ソフトウェアにより、マスクやウェーハの信頼性と正確な検査が可能です。また、重要な集積回路アプリケーションの市場投入までの時間を短縮するのにも役立ちます。