中古 KLA / TENCOR 2131 #195227 を販売中
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ID: 195227
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Wafer inspection system, 8"
UI System
KLA-2252 System
Monitor
Keyboard
Mouse
Printer
Power and signal cable
Robot
X and Y Chuck stage
PC
Power supply: 120 V, 25 A, 50/60 Hz, Single phase
1995 vintage.
KLA/TENCOR 2131は、半導体ウェーハおよびマスクの製造試験用に設計された次世代のマスクおよびウェーハ検査装置です。最先端のハードウェアと高度なソフトウェアを組み合わせることで、ウェーハ製造プロセス中の欠陥の迅速かつ正確な検出と特性評価を可能にします。このシステムは、視野全体で最大50ナノメートルの解像度で、非常に高速で動作することができます。カラーCCDカメラ、高精度ステージ、高輝度イルミネーションを備えたマスターサブシステムが含まれています。これは、ウェーハの2つのフルレイヤーをカバーするユニークな多機能の高解像度イメージングユニットによって補完されます。さらに、検査プロセスの精度と信頼性を最大化するために、Eビーム計測などのさまざまな分析ツールを使用しています。このツールの直感的なソフトウェアにより、オペレータは分析パラメータを迅速かつ効果的に設定し、テストを開始できます。そのユーザーフレンドリーな検査メニューは、赤外線イメージング、スペクトルイメージング、視覚化とメトリック、欠陥検出など、さまざまなオプションを提供します。さらに、リアルタイムデータ分析により、オペレータは各検査の結果を簡単に表示および評価することができます。さらに、KLA 2131は業界標準に従って欠陥の自動分類を備えています。これにより、予測可能な検査結果が得られ、デバイス製造時のサイクルタイムを短縮できます。また、業界の安全ガイドラインおよび排出基準に準拠しています。TENCOR 2131は、ウェーハ加工からウェーハ薄型化、マスクイメージングまで、幅広い用途に最適です。その高度な機能と直感的なソフトウェアは、半導体製造と処理のための貴重なツールとなります。
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