中古 KLA / TENCOR 2125 #9186027 を販売中

KLA / TENCOR 2125
ID: 9186027
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR 2125は欠陥のない生産のための自動ウェーハおよびマスクの点検および測定を提供するマスクおよびウェーハの点検装置です。このシステムは、高精度オプティクス、完全自動化されたウェーハおよびマスクの位置決め、スキャン、分析などの高度な機能を提供します。このユニットには、アクロマチックスリット投影カメラとテレセントリック投影光学装置が装備されています。スリットカメラは、より大きく均質な視野を提供し、ツールは、より高い精度で複雑な形状の複数の層をキャプチャすることができます。テレセントリック投影光学アセットは、その視野にわたって一貫した画質を保証し、より正確な測定結果を可能にします。KLA 2125モデルは、さまざまなアルゴリズムを使用して、汚染物質、粒子欠陥、およびその他の重要な粒子を含むさまざまな欠陥を検出および測定します。これらのアルゴリズムは、画像を分析し、検出された欠陥に基づいて信頼スコアを生成します。また、横方向と縦方向の両方の測定に対応する高精度の測定システムを内蔵しています。これにより、ウェーハ全体で正確かつ再現性のある測定が可能になります。さらに、このユニットはコントラストと回路の重要寸法を測定する機能を提供します。VTRF(可変許容リファレンスファイル)のサポート、OCR(光学文字認識)、汚染物質の除去、フォトレジスト欠陥の修復、重要なパターンのパターン充填などの高度な機能を備えています。VTRF機能により、オペレータは個々の要件と生産ニーズを満たすようにツールをカスタマイズできます。このアセットには、簡単なナビゲーションのためのタッチスクリーンモニター、直感的なメニューモデル、さまざまな画像調整とズーム機能など、さまざまなユーザーフレンドリーな機能も含まれています。この機器は非常に柔軟で構成可能であり、特定のアプリケーションに合わせてカスタマイズすることができます。全体として、TENCOR 2125システムは強力で信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査ユニットであり、自動スキャン、分析、測定を提供します。その高度な機能とユーザーフレンドリーなインターフェースにより、半導体製造と品質管理に最適です。
まだレビューはありません