中古 KLA / TENCOR 2122 #293644919 を販売中

KLA/TENCOR 2122は、自動プロセスと手動プロセスを組み合わせて、集積回路部品の製造に使用される材料の欠陥と変動を正確に評価するマスクおよびウェハ検査装置です。KLA 2122システムは、検査された材料の薄膜厚レベル、マスク欠陥、ウェーハトポグラフィおよび電気特性の変化を測定、検出、分析する機能を備えています。光学顕微鏡と電気顕微鏡の両方を使用して、サブミクロンレベルで検査された材料を高精度かつ信頼性の高い解析を行い、欠陥の検出と識別の精度を向上させます。高度なイメージングモードと分光機能により、200ナノメートルの分解能と約1ナノメートルの最小感度しきい値で、測定と評価において高い精度を備えています。3インチから8インチまでの様々なサイズや素材のウェーハを取り扱うように設計された統合された操作機構により、機械のハンドリングの柔軟性が可能になります。この機能により、アプローチの可変性が可能になり、異なる生産要件や製品ライフサイクルに合わせて検査プロセスを最適化できます。TENCOR 2122のソフトウェアエンジンは、単層および多層の薄膜イメージングと解析の両方を処理するために構築されており、欠陥ミスレートが非常に低い結果を提供します。このツールは、複数のウェーハ幾何学的パターン解析モードと組み合わせることで、高い評価精度を保証します。スピード面では、2122アセットは、高度なイメージングモードで標準よりも高速なスループットを提供し、生産ラインでの材料消費量の減少を可能にします。その結果、生産コストを削減し、貴重な時間節約装置となりました。結論として、KLA/TENCOR 2122は、幅広い集積回路に適した高度なマスクおよびウェハ検査装置です。検査対象材料の薄膜厚レベル、マスク欠陥、ウェハトポグラフィー、電気特性の変化を測定し、検出する機能を備えており、非常に高い精度を備えています。高速イメージングモードにより、標準よりも高速なスループットを実現し、材料消費量と生産コストを削減します。システムは貴重な時間節約装置であり、費用対効果の高い生産品質保証を提供します。