中古 KLA / TENCOR 2115 #9139557 を販売中
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KLA/TENCOR 2115マスク&ウェーハ検査装置は、迅速かつ正確なウェーハおよび基板分析用に特別に設計された自動非破壊光学検査システムです。この自動ウェーハ検査装置は、高精細画像キャプチャ機能を備えており、マスク、ウェーハ、MEMSデバイスなどの基板の構造欠陥を特定するための貴重なツールとなっています。KLA 2115マスク&ウェーハ検査機は、多種多様な基板の高速・高分解能解析に効率的なソリューションを提供します。このツールは、5〜20 umの解像度で画像を正確にキャプチャすることができ、並びとドットパターニングの両方に使用することができます。また、基板の詳細な地形を提供する同時3Dイメージング機能も備えています。さらに、TENCOR 2115マスク&ウェーハ検査アセットは、ダイツダイ検査、ダイツマスク比較、ウェーハツマスクのマッピングなど、幅広い用途向けに構成することができます。このモデルは、フロントサイドとバックサイドの両方の解析が可能で、最大4つの同時画像ビューを提供できます。さらに、この機器には、自動欠陥検出アルゴリズムとリアルタイム欠陥解析を備えた強力なソフトウェアスイートがあり、歩留まり性能を最適化しています。全体的に、2115マスク&ウェーハ検査システムは、幅広い基板のための技術的に高度で高効率な検査ユニットです。このマシンは、インラインとドットパターンの両方で5 um程度の欠陥を分析することができ、複数のアプリケーションに構成することができます。さらに、強力なソフトウェアスイートは、自動欠陥検出とリアルタイム欠陥解析を提供し、歩留まりを損なう構造欠陥を迅速に特定して対処することができます。その高度な機能のおかげで、KLA/TENCOR 2115マスク&ウェーハ検査ツールは、基板の高品質と信頼性を確保するための不可欠なツールです。
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