中古 KLA / TENCOR 2111 #9410124 を販売中

KLA/TENCOR 2111は、大規模集積型（LSI）マスクおよびウェーハのサブミクロン欠陥を迅速に検出することにより、コストを削減するために設計された高速自動マスクおよびウェーハ検査装置です。この高度なシステムは、2台のカメラと高性能の光学系とアルゴリズムを利用した独自のスキャンアプローチを備えています。最初のCCDカメラは低解像度でマスクまたはウェーハをスキャンし、2番目のカメラははるかに高い解像度とより詳細なスキャンを取得します。これにより、ユニットはより小さな欠陥を検出し、従来のスキャンシステムよりも高い精度で他のデータポイントを追跡することができます。また、エッジ欠陥（ストリートエッジパレットまたは部品）、粒子欠陥（ほこり、汚れ、その他の異物）、ライン欠陥（ヘアクラックおよびその他の電気的不連続性）、フォトコーディング欠陥（ウェーハ製造プロセスのエラー）など、さまざまな自動欠陥検出および検査を提供しています。このツールは、数秒でこれらの欠陥を識別し、目に見える欠陥とそうでない欠陥を区別することさえできます。KLA 2111はコンパクトで軽量、モバイル性に優れているため、実験室や生産ラインでの検査に最適です。また、直感的なタッチスクリーンインターフェイス、再現性のための調整可能な設定、詳細な欠陥解析データなど、さまざまなユーザーフレンドリーな機能も提供しています。高精度ズーム顕微鏡、顕微鏡ウェハスキャナ、内蔵の故障診断ツールなど、さまざまなハイテクツールが提供されています。TENCOR 2111は、コストを削減し、ウェーハおよびマスクの検査精度を向上させ、一貫した信頼性の高い結果を提供するように設計されています。自動化された欠陥検出および検査アセットは、スループットを向上させ、検査プロセスのサイクルタイムを短縮するのに役立ち、マスクおよびウェーハの製造にかかる所要時間を短縮できます。さらに、その高性能スキャン技術と詳細なレポート機能は、欠陥の正確性と詳細な分析を保証します。これらのすべての機能は、2111を最も効果的で効率的な検査システムの1つにするのに役立ちます。