中古 KLA / TENCOR 2111 #9410123 を販売中

KLA/TENCOR 2111は、さまざまな基板の表面品質を測定および監視するためのマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、高解像度、高速かつ正確な試験が可能であり、ナノメートルレベルでの結果を提供します。生産環境に最適なツールであり、歩留まりの向上とコストの削減を実現します。KLA 2111は、リニアモータとエンコーダユニットを組み合わせた真の画像ステッチ用のデュアルコラム設計で、5秒未満のサイクルタイムを実現しています。現在、マシンで利用可能な最高解像度は3。1nmです。このツールはまた、インストール後に追加のフレームでアップグレードすることができる拡張可能な30位置オートメーションコンポーネントを備えています。この資産は、最も正確な結果を保証するために、さまざまな検査技術の配列を備えています。これらには、光学および電気、欠陥検査およびマッピング、空中イメージングおよびSEM（走査型電子顕微鏡）が含まれます。欠陥はサイズ、位置およびイメージの対照に基づいて識別され、隔離されます。また、高度なデータ補正およびマスク補正装置、およびウェーハおよびダイ表面の高精度解析を提供する3D視覚フィーチャー解析ソフトウェアも提供します。TENCOR 2111は高度なユーザーインターフェイスを備えており、システム全体を完全に制御できます。データ取得速度、X線ソース、テスト制限などのパラメータは、すべてユーザーのニーズに合わせてカスタマイズできます。また、オートフォーカスを内蔵しており、毎回迅速なフォーカスと正確な結果を得るように設計されています。2111は交換部品への容易なアクセスを可能にするモジュラー設計と容易に整備されるように設計されています。このマシンには、ツールに対するすべての調整のアカウントを提供する監査ログも含まれています。全体として、KLA/TENCOR 2111は最先端のマスクおよびウェーハ検査資産です。すべての本番環境で優れたモデルであり、歩留まりの向上とコストの削減を実現します。この装置は、高い精度と信頼性を提供し、継続的な運用のための迅速かつ容易なメンテナンスを提供します。