中古 KLA / TENCOR 2111 #9082266 を販売中

KLA/TENCOR 2111は、高密度集積回路の欠陥を検出するプロジェクションオプティクスを使用したKLA株式会社の最先端マスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、高度な計算技術を使用して、マスク層とウェーハ層の両方の欠陥を検出するための比類のない精度を提供します。このユニットは、特許取得済みのProScanIA™マイクロオプティクスヘッドを搭載した180W超短パルスレーザーを使用して、ウェーハとマスクサーフェスの高解像度2Dオーバーレイを取得します。その5Xプロジェクションオプティクスは、ウェーハとマスク表面の高精度なトップダウン画像を作成し、非常に高い精度で欠陥を明らかにします。KLA 2111はまた、マスクされた画像とマスクされていない画像の両方をキャプチャし、画像処理アルゴリズムのホストを実行する高速画像取得マシンを備えています。これらのアルゴリズムは、単一の検査サイクルでパターン化された欠陥の検出と分類を可能にします。これは、検査時間を大幅に短縮し、歩留まりを向上させる機能です。このツールには、お客様の欠陥検査結果の検証と評価を支援する独自のソフトウェアが含まれています。ソフトウェアは、ユーザーが自分のデバイス構造を特徴付けることができるように、定量的な指標の範囲をサポートしています。使いやすさのために、TENCOR 2111は高度なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）も備えています。このGUIにより、ユーザーは詳細なデータ分析を犠牲にすることなく、高レベルのサマリーでカスタマイズされたレポートを迅速に生成できます。2111の高解像度光学、高度な画像処理機能、直感的なGUIの組み合わせにより、優れたマスクとウェーハ検査アセットが作成されます。このモデルは非常に詳細な2D解析を提供し、マスクされた欠陥とマスクされていない欠陥の両方を識別および定量化するのに理想的です。製品設計ライフサイクルの初期段階で、歩留まりを最大化し、重要な問題を特定しようとする半導体メーカーやエンジニアに最適なツールです。