中古 KLA / TENCOR 2111 #293642296 を販売中

KLA/TENCOR 2111は、フォトマスクやウェーハの迅速なスクリーニングのために設計された洗練されたマスクおよびウェーハ検査装置です。フルフィールドエリアスキャンを使用して、フォトマスク設計およびリソグラフィックプロセスレイヤーの重要な欠陥を検出し、マスクおよびウェーハの製造およびプロセス制御に最適です。KLA 2111は、視野全体にわたる画像データをキャプチャする高解像度デジタルイメージングシステムを搭載しています。このデータは、アルゴリズム補正とパターン認識の高度な光配列によって処理され、欠陥を識別します。画像解析に加えて、重大な欠陥のマイクロプロービングを可能にする多関節顕微鏡も備えています。機械はあらゆる厚さの層を点検することができ、サイズの4。20"（10。6 cm）までタイプします。8〜809 µmのパターンの検査・測定が可能で、5 µmの微細な特徴が検出可能です。さらに、高度なマスクおよびウェーハ欠陥検出用の0。5ミクロンの微細ライン分解能を備えています。TENCOR 2111には、簡単なナビゲーションと包括的な結果分析を可能にする直感的なソフトウェアも装備されています。この直感的なソフトウェアにより、マスクおよびウェーハの品質管理プロセスの正確性と信頼性が保証されます。また、このソフトウェアを使用すると、工場の複数の領域にデータを保存して共有することができ、欠陥分析やレポート作成に要する時間を最小限に抑えることができます。この装置は、複数の角度で光源や暗所など、複数の異なる検査タイプを実行して、深刻な生産遅延につながる可能性のある欠陥を検出するのに十分な汎用性があります。また、検査された表面データ、および品質基準の認証に関しても、高い精度と再現性を提供します。さらに、閉じたパターン、開いたパターン、多層パターンを検出することができます。2111はマスクおよびウェーハの製作およびプロセス制御のための理想的な用具で、良質の結果および使いやすいソフトウェアを提供します。アセットには幅広い用途があり、さまざまなハイエンドリソグラフィープロセスに適しています。