中古 KLA / TENCOR 201 #9396148 を販売中
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KLA/TENCOR 201は、効率的で正確な自動マスクおよびウェーハ検査装置です。マスクやウェーハの欠陥を高精度で素早く検出する自動システムで、高品質な製品を製造し、効率を向上させます。ユニットは光源、光学系、カメラ、画像処理・解析機で構成されています。光源は、マスク上の個々のチップ設計のコンテキストを照らすために使用されるLEDの配列です。光学系は、さらなる処理のために画像データを収集し、焦点を合わせるように設計されています。カメラは、反映された画像データをキャプチャし、デジタルデータとして保存します。画像処理および解析ツールは、高度なコンピュータアルゴリズムを使用して画像データを分析し、小さなジオメトリの歪みや欠陥を示すような大きな非照明領域などの欠陥パターンを検出します。KLA 201は、最小ピクセルから最大最大の機能まで、幅広いサイズの欠陥を検出することができ、最大500mm×500mmの大きなウェーハを処理することもできます。これは、リソグラフィー・マスク、光学ウェハ、eビーム・ウェハなど、さまざまなリソグラフィ・イメージング技術を検査する非常に堅牢なプロセスを持っています。さらに、アセットは、スクラッチ、壊れた金属、ずれ、過剰露出、残留物、ライン幅の違反など、さまざまな欠陥タイプを検出することができます。このモデルはハイスループットも可能で、サイクルタイムはイメージあたり0。2秒です。TENCOR 201は、半導体バックエンドおよびパッケージング、3Dパッケージレベル検査、産業オートメーションなど、さまざまな産業分野の複数のアプリケーションにも適しています。装置は非常に信頼性が高く、使いやすく、業界や分野を超えてカスタマイズできるモジュラーアーキテクチャで設計されています。このシステムはオプションのソフトウェアモジュールを備えており、自動欠陥分類とグレーディングを可能にし、各欠陥の原因を簡単に特定して分類することができます。また、顧客定義のレポートを提供し、欠陥データを迅速かつ簡単に分析できます。201は、可能な限り最高品質の製品を生産するために、欠陥の迅速かつ信頼性の高い検出を必要とする製造業に理想的です。効率的で正確なユニットで、業界の専門家が生産目標を達成するのを支援します。
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