中古 KLA / TENCOR 201 #293651162 を販売中

ID: 293651162
Mask inspection system.
KLA/TENCOR 201は、UVイメージングマスクおよびウェハ検査装置です。それは最も要求の厳しい半導体およびLCDのパネルの塗布のために設計されている上限システムです。マイクロファブリケーション、薄膜トランジスタ(TFT)製造、高度なパッケージングなど、さまざまな技術のためのマスクパターンとウェーハの迅速な検査を提供します。従来の検査技術よりも、マスクやウェーハをより正確かつ迅速に検査することができます。光学的欠陥の迅速な検出とパターンの分類を提供し、生産歩留まりを向上させ、検査時間を大幅に短縮します。このマシンは、大容量または特殊な検査アプリケーションで構成可能です。モジュラー設計により、特定のアプリケーションのニーズに合わせて構成することができます。オープンアーキテクチャツールであり、より複雑な欠陥を分析するためにコンポーネントを追加することができます。KLA 201アセットは、自動ウェハローディングモデルと欠陥検出および分類アルゴリズムの大規模なライブラリを備えています。その高度なイメージングおよび分析機能は、ウェーハ表面に表示される欠陥を追跡し、ユーザーが正確に識別して分類することができます。装置の重要な特徴は、従来の検査技術では検出できない欠陥を検出および分類することです。また、画像と検出した欠陥とのリアルタイムの相関も提供します。これにより、ユーザーは簡単に欠陥を分析し、是正措置の原因を決定することができます。最高の精度の結果を得るために、TENCOR 201は完全なキャリブレーションスイートを備えており、高速で高精度のテストと分析を可能にします。また、外部データ取得やサードパーティ製の校正システムもサポートしているため、検査プロセスをさらにカスタマイズできます。このシステムは直感的なユーザーインターフェイスを備えているため、結果を正確に検証し、パラメータを調整することが容易です。さらに、このユニットはKLAの専門家チームのサポートを受けてバックアップされ、機械の操作とツール固有のデータ解釈のアドバイスに関する追加の洞察を提供します。全体として、201は強力で汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査資産であり、最も要求の厳しい半導体およびLCDパネルアプリケーション向けの高度なイメージングおよび分析技術を提供します。これは、パターンの迅速な欠陥検出と分類、および欠陥の最も正確な分析のためのリアルタイムの相関を探しているユーザーに最適です。
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