中古 KLA / TENCOR 201 #293647441 を販売中

KLA/TENCOR 201の「マスク&ウェーハ検査」装置は、マスクやウェーハのパターン検査に役立つ高度な産業システムです。このユニットには、パターンの忠実性と構造の完全性をチェックするためのさまざまな機能が装備されています。KLA 201マシンは、あらゆる検査レベルで高品質の画像処理を可能にする3ミラーイメージングサブシステムを使用しており、必要な精度を提供します。高度な光学ツールは、明るいフィールドと暗いフィールドの両方の画像情報を収集し、収集して保存します。その後、抽出されたデータを一連の画像と地図に変換し、調査された構造表面とその側壁の詳細な統計分析を明らかにします。さらに、内蔵の特許取得済みのMeasurement Commanderソフトウェアは、高精度の広域計測測定と検査測定の両方を自動的に行うことができ、2つのレベルの計測データをキャプチャします。最初のレベルは表面層の厚さ、平坦および重複されたパターンまたはライン密度から成っています；マスクパターンの端に取り組んでいる2番目のものは、サイドウォールの厚さ、ライン形状、断面積を含みます。TENCOR 201アセットの検査機能は、学習曲線の短縮を可能にするVariable Job Setupによってさらに強化されています。これは、オーバーレイ、幅、メタルライン欠陥などのさまざまなテストタスクに既存のデータライブラリを使用しているため、検査を高速かつ高精度に実行できます。201に振動および他の環境効果を緩和することによって高められたイメージの質を可能にする最先端の環境制御の点検システムの1つがあります。さらに、KLA/TENCOR 201機能は、高温や極度の湿度でも、条件のホステルで信頼性があります。これは、製造プロセスに不可欠な、結果に莫大な精度と自信を与えます。全体として、KLA 201モデルは、製造目的でマスクとウェーハパターンを検査する革新的で効率的な方法です。この装置には、マスクおよびウェーハ検査用の産業用システムとなる機能が搭載されています。