中古 KLA / TENCOR 201 #293635802 を販売中

KLA/TENCOR 201は、マスク&ウェーハ製造のための自動検査装置です。これは、リソグラフィやその他のプロセスで使用されるマスクが欠陥のないことを保証するために使用されます。システムは、マスク検査ステーション（MIS）とウェーハ検査ステーション（WIS）の2つの部分で構成されています。MISは、2層マスクまたは2層マスクの最大4〜8個のフラットな高解像度光学フィールドを検査するように設計されています。MISは、非常に高い感度でフォトマスクパターンの欠陥を検出するために使用され、完全な欠陥カバレッジを可能にします。これは、異なる種類のプロセス誘発欠陥を分析することができ、正確な欠陥座標測定を提供します。機械は自動的に異なったダイスのサイズを認識し、いろいろなマスクを受け入れます。WISは、4インチまたは6インチのウェーハの最大8つのフラットで高解像度の光学フィールドを検査します。それは欠陥を逃すことなく正確な欠陥検出を提供します。この機械はパス/失敗の決定および詳細な欠陥の地図との内部および周囲の欠陥の適用範囲を提供します。また、WISは光学署名認識を可能にし、プロセス残差、構造欠陥、その他の生産上の問題を検出するための効果的なツールです。KLA 201は、クラス100のクリーンルーム環境で動作可能で、あらゆるPCからリモートアクセスできるユーザーフレンドリーなソフトウェアが付属しています。このユニットは、プロセス全体を包括的に制御し、複数の言語をサポートしています。全体的に、TENCOR 201は信頼性が高く、効率的なマスク&ウェーハ検査機です。これは、さまざまな種類の欠陥を検出するように設計されており、正確な欠陥測定で優れた信頼性を提供します。このツールは、半導体製造、マスク、ウェハ加工などの関連産業に適しています。