中古 KLA / TENCOR 2 XX #9009649 を販売中

KLA/TENCOR 2 XXは、中規模から大規模生産に最適化されたマスクおよびウェーハ検査装置で、所有コストを最小限に抑えながら、幅広いアプリケーションで最高の精度を提供するよう設計されています。この革新的な設計は、欠陥検査、自動欠陥分類、レビュー機能を1つの完全なツールに組み合わせることができます。KLA 2 XXシステムは、最大70倍の高精度、高速欠陥検出を提供し、線幅、粒子/汚染、ブリッジおよび開放欠陥などの欠陥タイプに対処します。M-Vision Particle/Contamination Analysisパッケージは、形状によって粒子と背景を区別します。TENCOR 2XXユニットは、ライン幅とブリッジ欠陥を処理するための真の欠陥特性評価のための自動輪郭解析およびアウトリエ削除戦略を備えており、欠陥参照データの生成に最適なツールです。さらに、10xアウトラインと84x PEMズームおよび自動化された欠陥識別を備えたthAe自動欠陥レビュープロセスは、欠陥を正確に分類してフォローアップと歩留まりの改善を図ります。このマシンの高いスループットと精度は、1時間あたり最大500個のウェーハを分析できるユーザーフレンドリーな統合ソフトウェアインターフェイスによってサポートされています。さらに、追加のソフトウェアパッケージは、応力および歪み解析、地形認識、欠陥レベル測定などのさらなる機能を提供します。内蔵の冗長性と信頼性機能により、2XXツールがスムーズに実行され、長期的なパフォーマンスが維持されます。一方、ネットワークベースのアセットアーキテクチャにより、すべてのデータをグローバルな生産設備で共有できるようになります。このモデルにはグローバルサポートネットワークが付属しており、ユーザーのアプリケーションに応じてさまざまなオプション、アップグレード、アクセサリが利用できます。